“高速超精细激光干涉仪”

  据哈尔滨工业大学新闻网，仪器学院胡鹏程教授团队研发的“高速超精细激光干涉仪”荣获首届“金燧奖”我国光电仪器品牌榜金奖。

  据介绍，该团队专心于高速超精细激光干涉仪研发，以处理限制我国高端配备开展和量子化计量基准等前沿研讨的“卡脖子”问题。团队打破系列中心测量方法和工程化关键技能，处理了该范畴存在的测禁绝、测不精、测不快的中心难题，共获授权发明专利113项（其我世界专利6项），拟定有关规范2项，出书学术著作2部。在此基础上，团队研发了HUE-D/S/X系列高速超精细激光干涉仪并进行小批量出产，经3位院士等专家判定，仪器全体技能到达世界抢先水平，3项关键技能处于世界抢先。

  A股公司中，炬光科技(行情688167,诊股)为半导体光刻应用范畴供给光刻机曝光体系中的中心激光光学元器件光场匀化器。赛微电子(行情300456,诊股)为ASML供给透镜体系MEMS部件的工艺开发与晶圆制作服务，该厂商目前为公司MEMS事务的前十大客户。